高純度窒素ガス発生器の核心は空気分離技術にあり、物理的または化学的方法によって空気中の窒素ガスの78%を酸素、二酸化炭素などの他の成分と分離し、窒素ガスの純度の向上を実現する。

　　高純度窒素ガス発生器の仕組み：

電気化学的窒素製造：圧力安定処理された清浄な空気を電解槽に入力し、空気中の酸素は陰極で電子を吸収し、水と反応して水酸化物イオンを形成し、これらのイオンはその後陽極に移動し、そこで電子を失い酸素を放出し、最終的には窒素ガスのみがガス経路に沿って流出する。

変圧吸着（PSA）による窒素製造：吸着剤として炭素分子篩を利用し、常温で変圧吸着により空気中から窒素ガスを分離する。炭素モレキュラーシーブは窒素と酸素に対して選択吸着性の違いがあり、酸素分子は炭素モレキュラーシーブ表面により多く吸着されるが、窒素分子は吸着されることが少なく、吸着と再生過程を交互に行うことにより、窒素ガスの連続出力を実現する。

膜分離による窒素製造：特殊な高分子膜材料の異なるガス分子への透過性の違いを利用して、圧縮空気が膜を通過すると、酸素とその他の不純物分子が膜によって透過側に遮蔽され、窒素分子が膜の滞留側に濃縮され、窒素ガスの分離と精製を実現する。しかし、この方法の窒素純度は高純度に達しない可能性がある。

この設備は高圧窒素ボンベの代替ができ、安全リスクを低減し、しかも全自動運転で、操作が簡便で、日常のメンテナンスが便利で、一部にはキャスターも付いており、移動しやすい。モジュール化された構造設計で、実験室のスペースを節約します。