実験計画

●試験サンプル：液体レジストサンプル1部

●試験機器：TGA 8000-Frontier-Clarus 690/SQ 8 T、併用モジュールはTL 9000モデル。すべての計器と併用モジュールはパーキンエルマーから来ている。

●試験条件：

試料秤量方式及び使用量：10μLピペットを用いて粘稠液体試料を移取し、試験ごとに計3回移取し、セラミックス増埚中に置く。サンプルの粘度が大きく、実際のサンプリング量は30μL未満であるため、サンプルの実際の品質は熱重量によって決定される。