本文はパーキンエルマーAvio 200誘導結合プラズマ発光分光器（ICP-OES）を用いて高純度石英砂試料中の多種不純物元素を測定する分析方法を紹介し、そしてこの方法に対して系統的な検証を行った。結果により、この方法は優れた精度と良好な精度を有し、2部のサンプルの結果値はすべて『GB/T 32649-2016光起電力用高純度石英砂』基準中の13種類の不純物元素に対する制限値要求を満たし、それにより高純度石英砂サンプル中の微量元素に対する正確な測定を実現した。