誘導結合プラズマ質量分析（ICP−MS）は多元素検出技術として、感度が高く、サンプルタイプが柔軟（気体、液体と固体）で、測定速度が速く、線形動的範囲が広いなどの利点がある。単一粒子モードで動作するICP−MS（SP−ICP−MS）は、無機成分、濃度、粒子径、粒子径分布、凝集などの様々なナノ粒子特徴を測定し、測定するための強力な技術であることが証明されている。