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私たちについて
Nanjing Zhilian Optical Technology Co., Ltd
日付：2022-03-17読み：0
失効分析は電子部品の失効原因を診断することであり、失効分析を行う過程で、機器設備、及び化学類手段を用いて分析を行い、失効モードを確認し、失効原因を判断し、失効メカニズムを研究し、改善予防措置を提出する必要がある。その方法は有損分析、無損分析、物理分析、化学分析などに分けることができる。その中で微視的形態検出を行う場合、特に断面または内部構造を観察する必要がある場合、イオンミル+走査電子顕微鏡結合法を用いて、故障分析研究を行う必要がある。
イオンミルは現在一般的に使用されているサンプル製造ツールであり、異なる角度の断面切削及び表面の研磨とクリーニング処理を行い、半導体故障分析に適したSEM用サンプルを製造することができる。
イオングラインダ
TECHNOORG リンダ
1
走査電子顕微鏡
フェノム SEM
2
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イオングラインダの基本原理
ウェハ失効解析の考え方と方法
ケースシェア1
有効期限の位置を優先的に判断する
故障解析位置をロックした後、イオンミルによる切断を決定する
イオングラインダで切断
切断後のサンプル、拡大観察
拡大すると故障箇所が左右非対称であることが分かった
さらに拡大すると、故障位置の押出変形、亀裂が発見され、故障の主な原因となった
変形クラック位置
倍率：20000 x
変形クラック位置
倍率：40000 x
ICパッケージ試験の故障解析
ケースシェア2
故障箇所の切断
イオングラインダで切断
位置1.拡大すると、ここには接続されていません。倍率：30000 x
位置2.拡大すると、ここに亀裂が見つかりました。倍率：50000 x
PCB/PCBA失効解析
ケースシェア3
イオングラインダ
SC-2100
イオンビーム断面切削、表面研磨に適している
異なる切削角度を予め設定して断面サンプルを製造することができる
サンプル研磨または最終段階で使用可能な細い研磨と洗浄
高速研磨用超高エネルギーイオン銃
低エネルギーイオン銃の後処理に適した表面の無傷細投げと清掃
操作が簡単、組み込みコンピュータシステム、全自動設定操作
冷却システムの標準化、多種類サンプルへの応用
高解像度カラーカメラによる研磨プロセスのリアルタイム監視