多光子重合レジスト（Multiphhoton Polymerization Photoresist）はフェムト秒レーザの3次元マイクロナノ加工に特化した特殊な感光材料である。多光子重合フォトレジストはフェムト秒レーザーの三次元マイクロナノ加工のために設計されており、選択する際には精度、効率、応用適性を確保するために重要な性能指標を統合する必要がある。

シーンを適用するには：

鄒生物医学鄒：マイクロフロー制御チップ、生体模倣ステントの製造、光誘発剤の生物毒性を避ける、‌

鄒光子デバイス鄒：三次元フォトニック結晶、マイクロレンズアレイ加工鄒、

‌精密機械‌：部品は直接書き、複雑な懸濁構造をサポートする。

主なパフォーマンス指標の選択基準

鄒解像度鄒：最小特徴寸法（通常100 nmレベルに達する必要がある）を決定し、高解像度はより微細な構造（マイクロレンズやフォトニック結晶など）の製造を支持する、しかし、コストとパフォーマンスを考慮し、過度な投資を避ける必要があります。‌

鄒感度鄒：露光エネルギーに対する感度を反映し、高感度はレーザー露光量を下げ、加工効率を高めることができる、しかし、高感度は環境感度を高める可能性があることに注意する必要があります。‌

鄒コントラスト：パターンエッジの鋭さに影響し、高コントラスト（90°側壁に近い）で線のぼやけを減少し、構造の正確性を向上させる。‌

鄒現像性能鄒：未露光領域の除去を確保し、残留物を減少する、選択する際は現像速度と均一性に注目してください。‌

鄒機械性能鄒：硬度、靭性と引張抵抗性を含み、塗布或いは加工中に変形或いは割れが発生することを防止する。‌

鄒耐化学性と熱安定性鄒：腐食剤、洗浄剤及び高温処理（例えばベーキング）に耐え、図形歪みを避ける、熱安定性は多光子重合の高エネルギーレーザ環境に特に重要である。‌

鄒純度鄒：不純物含有量はppbレベルに厳格に制御し、高純度で微欠陥リスクを減少する必要がある。