サーモガス質量流量計熱拡散と熱分布の原理に基づいて、ガスが熱を持ち去る量を測定することによって流量を計算する計器である。

　　サーモガス質量流量計発熱体をガスが通過する際の発熱体の熱散逸とガス流量との比例関係を用いて測定した。具体的には、センサ部分と実際のプロセス温度との一定の温度差を維持し、ガス流を利用して熱の量を持ち去ることで流量の大きさを反映している。ガス質量流量が大きいほど冷却効果が顕著になり、差分温度を維持するために必要なエネルギーも大きくなる。

熱式ガス質量流量計の使用上の注意事項：

粉塵/凝縮水の干渉を避ける：センサーは不純物に敏感で、先端にフィルターを取り付ける必要がある（濾過精度≦5μm）、湿潤ガスは脱水処理を行い、凝縮水が加熱素子を損傷するのを防ぐ必要がある。

インストール要件：

挿入式機種：プローブがパイプ中心に挿入され、前後の直管段≧5 D/3 D（Dはパイプ内径）を保証する必要がある、

ダクト式機種：水平取付け、垂直取付けによる液溜まりを避ける。

校正需要：毎年1回または半年に1回校正し、精度の安定を確保する必要がある、一部の機種は現場での自己校正をサポートしている。

酸素専用注意：酸素を測定する時、「オイルフリー設計」機種を選択し、酸化反応のリスクを回避し、防爆等級は現場の要求に合致しなければならない。