1、サンプリングシステム

分析フローの起点として、サンプリングシステムは測定対象ガスを安定的に、損傷なく検出ユニットに輸送する責任を負う。一般に、不活性材料（例えば、ポリテトラフルオロエチレン又はステンレス鋼）の管路、粒子フィルタ、除湿装置及び精密ポンプからなる。その設計はガス吸着と交差汚染を大幅に減少させ、サンプルの代表性を確保する必要がある。一部のモデルには自動キャリブレーションバルブを装備し、ゼロガスと標準ガスのシームレスな切り替えを実現している。

2、サンプリングと予備濃縮モジュール

目標ガス濃度が極めて低いため、直接検出は難しい。予備濃縮技術（例えばコールドトラップ捕集、吸着管濃縮）はガス中の目標物を低温で濃縮し、さらに瞬間的に熱脱着して検出器に注入し、感度を著しく向上させることができる。このモジュールは「無から有へ」検査を実現する核心であり、特にVOCs（揮発性有機物）などの複雑な基質分析に適している。

3、検出器

ガスクロマトグラフィー-質量分析法併用（GC-MS）：分離能力が強く、定性的に正確で、複雑な混合物に適用する、

光キャビティ減衰分光法（CRDS）：高反射率光キャビティを利用して吸収経路を強化し、感度が高い、

赤外吸収スペクトル（NDIR）：特徴吸収ピーク定量に基づいて、安定性が良く、CO？、CH？など、

電気化学センサー：コストが低く、応答が速く、携帯機器のO？、COなどの検出に適している。

4、光学系（スペクトル系機器）

スペクトル原理に基づく機器では、レーザー源、マルチパスプール、光検出器などが重要な光路を構成している。可変同調ダイオードレーザー（TDLAS）は目標ガス吸収線を正確にロックし、長光路吸収池を結合し、検出限界を大幅に向上させることができる。

5、データ処理と制御システム

統合ソフトウェアはリアルタイムで信号を収集し、アルゴリズムによって背景ノイズを除去し、干渉を補正し、濃度曲線と警報情報を出力する。現代計器は遠隔監視、データ追跡とマルチパラメータ連動分析をサポートする。