さんじげんひょうめんプロファイルけい高精度で物体表面の三次元形態を測定するための精密計器であり、電子、自動車、半導体、材料科学及び工業検査などの分野に広く応用されている。

　　さんじげんひょうめんプロファイルけいの性能は重要な技術パラメータによって決定され、異なる応用シーンのパラメータに対する要求の差は顕著で、購入時に以下の指標に重点を置く必要がある：

1、測定範囲：

横方向範囲（X/Y軸、測定可能サンプルの＊大寸法を決定する）と縦方向範囲（Z軸、測定可能表面の＊大高さ差を決定する）を含む。

2、解像度：

縦方向分解能：表面の微小な高さ差を区別する能力を測定し、核心指標である、

横解像度：表面の微小横方向特徴を区別する能力を測定し、光学系の対物レンズ倍率、検出器画素と関係がある。

3、測定精度：

測定結果と実際の値との偏差を指し、通常は線形誤差（Z軸変位の線形度）、繰り返し誤差（同じ位置を複数回測定する偏差）、平面度誤差（キャリブレーション平面の測定偏差）を含む。

4、測定速度：

スキャン方式（ポイントスキャン、ラインスキャン、フェーススキャン）とデータ処理効率に依存：

構造光投影式：面走査、速度*高速（ミリ秒級、オンライン検出に適している）、

原子間力顕微鏡：点ごとの走査、速度*遅（分級、オフライン精密分析に適している）、

白色光干渉計：線走査、速度は中程度（秒級から分級、精度と効率を両立）。

5、サンプル互換性：

サンプルの材質（金属、非金属、透明/不透明、導電/絶縁）、寸法（サンプル台に適合するかどうか）、表面状態（平滑/粗さ、乾燥/湿潤）を含む。