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尊敬するkSA BandiTユーザー、RiberのCrystal XEを使用している場合は、BandiTソフトウェア最新バージョンにアップグレードします。BandiTの最新バージョンは、Crystal XE(RiberのMBE制御ソフトウェア)においてBandiT結果、およびその他の関連情報をリアルタイムで表示および記録することができる。この統合と通信を可能にするクリスタル XE高速アクセスkSA BandiTが提供する各種ウェハ温度測定パラメータについては、アップグレードが必要な場合はお問い合わせください。

kSA BandiTリアルタイム基板温度測定器 半導体基板の表面温度を非接触、リアルタイムで測定する試験システムであり、温度による半導体材料の吸収辺の変化の原理を用いて、ウェハ/基板の温度をリアルタイムで測定する。