油フリー空気発生器は油フリー圧縮、多段浄化と膜分離あるいは吸着技術の協同作用を通じて、実験室と工業シーンに高純度、油汚染のない安定したガス源を提供し、その技術ルートは以下の3つの核心段階に分けることができる：

一、無油圧縮：源から油汚染を根絶する

オイルフリー空気発生器はオイルフリー潤滑圧縮機（例えばダイアフラム式またはスクロール式）を採用し、機械密封または高分子材料を通じて伝統的な潤滑油の代わりにし、圧縮過程におけるオイル蒸気のガス路への混入を回避する。圧縮後の空気温度は著しく上昇し、空冷または水冷システムによって急速に温度を下げ、高温によるガス体積膨張が後続の処理効率に影響することを防止すると同時に、水蒸気含有量を下げて乾燥負担を軽減する必要がある。

二、多段浄化：粒子、水分と微量不純物の除去

一次濾過：遠心式或いは濾過網式分離器により直径＞5μmの粒子状物質及び液状水滴を除去し、後続の精密濾過芯を保護する。

精密ろ過：活性炭フィルターを用いて有機化合物、異臭及び部分水蒸気を吸着し、モレキュラーシーブ又はシリカゲル乾燥剤をさらに深く脱水し、露点を−40℃以下に低下させる。

最終浄化：0.01μm級マイクロミストフィルターは残留油分子及びサブミクロン級粒子を遮断し、出力空気油含有量＜0.003 ppmを確保し、ガスクロマトグラフなどの精密機器の要求を満たす。

三、コア分離技術：膜分離と変圧吸着のルート比較

膜分離技術：

中空繊維膜の選択的透過性を利用して、圧力差駆動の下で、酸素、二酸化炭素などの小分子ガスが優先的に膜壁を透過し、窒素などの高分子ガスが遮断され、窒素ガス純度95%〜99%の高速分離を実現した。この技術は運動部品がなく、メンテナンスが簡単であるが、ガス生産効率は膜面積に制限され、小流量シーンに適している。

変圧吸着（PSA）技術：

炭素分子篩が加圧時に酸素を吸着し、減圧時に脱着する特性により、循環切換吸着塔は連続給気を実現する。PSAは99.99%の高純度窒素ガスを製造することができ、しかもガス生産量は柔軟に調整することができるが、定期的に分子ふるいを交換し、複雑な空気弁制御システムを配備する必要があり、大流量需要に適している。