プラズマ洗浄機の洗浄効果検査、核心は表面汚染物の除去程度及び界面活性の向上効果を検証することであり、常用方法は物理検査法と化学検査法の2種類に分けることができ、操作が簡単で実用性が強く、具体的なステップは以下の通りである：

一、物理検査法（直観的に判断し、迅速に着手する）

1.接触角測定法

これは表面親水性/疎水性の変化を検出する核心的な方法であり、プラズマ洗浄は表面油汚れを除去し、活性基を増加させ、接触角を著しく低下させる。

準備ツール：接触角測定器、脱イオン水（または指定試験液）。

操作手順：

洗浄前：測定するサンプルを採取し、1 ~ 2μLの脱イオン水を表面に滴下し、器具で接触角を測定し、数値を記録する。

洗浄後：同様の方法でサンプルの同一領域（または隣接する同材質領域）に滴下測定を行った。

判断基準：洗浄後の接触角が明らかに減少（例えば80°以上から30°以下に下がる）、洗浄効果が良好であることを説明する、数値変化が小さいと、洗浄パラメータが不足したり残留したりする可能性があります。

2.外観目視/顕微鏡観察法

明らかな粒子、汚れのあるサンプルに適用し、表面清浄度を迅速に判断する。

準備ツール：肉眼、光学顕微鏡（または体視顕微鏡）。

操作手順：

洗浄前後、それぞれ同じ光照射条件下でサンプル表面を観察した。

微小汚れについては、粒子数、汚れ面積の変化を顕微鏡で50 ~ 200倍に拡大して観察した。

判断基準：洗浄後の表面に粒子、油汚れ、水汚れの痕跡がなく、顕微鏡下の不純物の数が大幅に減少し、すなわち洗浄に合格した。

二、化学検査法（精密検証、専門ニーズに適合）

1.表面エネルギー試験法（インクスクライブ法、簡易版に基づく）

異なる表面エネルギーのテストインクを用いて、サンプルの表面活性を判断し、間接的に洗浄効果を反映する。

準備工具：セット表面エネルギー試験インク（例えば30 ~ 70 mN/mシリーズ）。

操作手順：

洗浄後、綿棒に低表面エネルギーインクをつけてサンプル表面に直線を引く。

インクラインが連続的に収縮しない場合、サンプル表面エネルギー≧このインク表面エネルギーを説明する。水玉や断線に収縮すると、表面エネルギーが不足し、清掃が徹底していないことを示します。

参考基準：多くの工業洗浄後、サンプル表面エネルギーは38 mN/m以上に達する必要がある。

2.残留物重量分析法（微量汚染物検出に適した）

半導体、精密電子部品などの清潔度が要求されるシーンに適用し、汚染物の残留量を定量化する。

準備工具：分析天秤（精度0.01 mg）、乾燥箱。

操作手順：

洗浄前に、サンプルを乾燥箱に入れて一定重量まで乾燥し、分析天秤で秤量し、m 1を記録した。

プラズマ洗浄後、同様に一定重量まで乾燥し、秤量してm 2を記録した。

判断基準：重量差Δm＝m 1−m 2を計算し、Δmが大きいほど除去する汚染物が多いことを説明する、Δmが0に近づく場合は、洗浄電力、時間などのパラメータを調整する必要があります。

三、注意事項

検出プラズマ洗浄機洗浄後短時間（30分以内を推奨）で行い、サンプル表面に空気中の汚染物質を吸着し、結果に影響を与えないようにする必要がある。

比較テストの時、洗浄前後のサンプルのテスト環境、位置、方法が一致し、誤差を減らすことを保証する必要がある。

異なる材質のサンプル（例えば金属、プラスチック、ガラス）は適切な検査方法を選択する必要があり、例えばプラスチックサンプルは優先的に接触角法を用い、金属部品は顕微鏡と結合して観察することができる。