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13584134215
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住所
江蘇江陰金山路201号創智産業園A座5階南
Jiangsu Leibo Scientific Instrument Co., Ltd
NATURE発文から高効率実験まで｜レボコー計シムマシンはどのように科学研究の突破を助けますか？
日付：2025-12-23読み：2
従来の設備は高速回転塗布時に、膜厚ムラ、熱ベーク温度の変動が大きいなどの問題が発生しやすい。レボコーのホモジナイザーキャビティは特殊な設計を採用し、ナノインプリントプロセスにおいて優れた均一性を維持することができる：
A.均一性：8インチウエハ，BKMデータ可達±1.1%。
4インチウエハBKMデータ：スライス内±0.49%、スライス間±0.55%。
6インチウエハBKMデータ：片内±0.76%、片間±0.91%。
8インチウエハBKMデータ：片内±0.92%、片間±1.10%
B.パネル均一性：8/12インチ円形領域内，BKMデータ可達≤±1%（温度分解能：0.1℃、温度制御精度：±0.2℃、線形昇温範囲：0.5℃/min ~ 10℃/min、線形領域内）
AC 200ホモジナイザー（カスタムマシン）
AZ 5214 Eという糊液に対して、8寸錠2µmの膜厚、レボコメータAC 200シムマシンは優れた均一性を維持することができる：
シート内均一性：BKM 0.54%，シート間均一性：1.14%。
4インチウエハ均一性：±0.39%
8インチウエハ均一性：±1.3%
1.キャビティ用HDPE材質（耐酸性及び耐アルカリ性がPPより優れている）。
2.プラスチックキャリア皿の選択PPS材質（耐化学腐食性はPPより優れ、高温と高湿度条件下でPPより良い絶縁性があり、良好な難燃性がある）。
3.主軸モータは高精度サーボモータを採用し、自己研究制御アルゴリズムに合わせて、高回転速度（10000 rpm）でも可あんていほじ1 rpm未満の偏差、および安定加速度出力。
4.ブロッキング防止ゴム設計、大容量集液ボトルが大幅にメンテナンスサイクルの延長（同じ使用頻度で、弊社は1月に1回）。
5.廃棄物と換気を独立に分離する汚染による換気管路への影響を避ける。
6.設備開閉可能カバー運転、より多くの応用環境に適応する。
7.標準無油真空ポンプ、真空を確立するために圧縮空気などを再投入する必要はありません。
8.フラット化UI設計、ワンタッチ操作モード、非常に使いやすく、操作学習コストはほとんどありません。
9.薬液弁の選択一線輸入ブランドCKD、小金井など、供給液と再吸引が安定して信頼性がある（カスタムモデル）。
10.セミオートメーションスイングアーム設計により、定点、揺動、摺動の多種の滴下方法（カスタムモデル）を実現することができる。
11.家族化統一スタイル外観設計、ハウジング射出成形技術、たいふしょく。
