1.計器準備

• 電源投入前のチェック：アルゴンガス、ヘリウムガスの供給が十分で、冷却水の循環が正常で、通風システムがオンで、真空ポンプの運行が安定していることを確保する。
• オープンデバイス：電源、循環冷却水、ガスバルブを順次開き、コンピュータを起動し、ICP-MS制御ソフトウェアを実行する。

2.計器の予熱と調整

• よねつ：計器を起動した後、少なくとも30分間予熱し、プラズマの安定を確保する必要がある。
• チューニング：調整液（例えばLi、Y、Ce、Tl、Co混合溶液）を用いて器具の調整を行い、感度、酸化物と二重電荷イオンの収率などのパラメータを最適化し、器具の性能が最適な状態に達することを確保する。

3.サンプル準備

• サンプル処理：サンプルは希酸水溶液（例えば2%HNO 8323）であり、フッ酸、有機物及び粒子状物質を含まないようにする必要がある。固体サンプルは消解などの方法で液状に転化する必要がある。
• きしゃく：未知濃度サンプルは適切な範囲（例えば100 ppb以下）に希釈し、汚染検出器を避ける必要がある。

4.標準溶液と内標準準備

• ひょうじゅんようえき：分析元素範囲に基づいて、0.1 ppbから50 ppbの標準溶液を調製し、較正曲線を確立する。
• ないぶひょうじゅんようえき：測定される元素のイオン化特性に類似した内部標準元素（In、Bi、Rhなど）を選択し、基体効果と信号ドリフトを補正する。

5.サンプル分析

• パラメータの設定：ソフトウェアで分析方法を設定します。要素リスト、積分時間、サンプリング深さなどが含まれます。
• サンプリング分析：サンプルを自動サンプラに置き、分析シーケンスを開始する。プラズマ状態を観察し、安定した動作を確保する。
• データ収集：計器はイオン信号を自動的に収集し、質量スペクトル図を生成する。

6.データ処理と報告

• データ処理：ソフトウェアを用いて背景控除、定量分析を行い、校正曲線を生成し、サンプル濃度を計算する。
• 結果の検証：スケールアップ回収、平行サンプル分析などの方法で結果の正確性を検証する。
• レポート生成：サンプル情報、実験条件、分析結果及び品質制御データを整理し、報告書を生成する。

7.機器メンテナンス

• 電源を切る：分析が終わったら、脱イオン水でシステムを洗浄し、プラズマ、ガス、冷却水を閉じ、最後に電源を切る。
• 日常メンテナンス：霧化器を定期的に洗浄し、ポンプ管を交換し、ガス純度と冷却水の水質を検査し、計器の長期安定運行を確保する。