ICP質量分析計高感度の分析機器であり、環境モニタリング、生物医学、地質探査などの分野で重要な役割を果たしている。

　　ICP質量分析計荷電粒子が電磁場中で偏向できる原理に基づいて、誘導結合プラズマ（ICP）技術と質量分析（MS）技術を結合して元素分析を行った。試料はまず高温プラズマトーチ管に導入され、試料マトリックスはイオン化されて多くの粒子を形成し、その中で測定すべき元素がイオン化した部分は分析対象である。これらのイオンは精製抽出された後、質量分析計部分に導入され、質量分析計では、イオンはその質量荷重比（m/z）に基づいて分離され、異なる質量荷重比のイオンは電場と磁場によって異なる経路に沿って移動し、その後検出器に到達して電気信号を検出され、ソフトウェアに記録され、さらにサンプル中の各元素の性質と含有量情報を得た。

ICP質量分析計の重要な応用は同位体を分離し、それらの原子質量と相対的な存在度を測定することである。測定原子質量の精度は化学測定法を超え、約2/3以上の原子質量は質量分析法で測定された。質量とエネルギーの当量関係により、核構造と核結合エネルギーに関する知識を得ることができる。鉱石から抽出できる放射性減衰生成物元素の分析測定に対して、鉱石の地質年代を決定することができる。

質量分析方法はまた有機化学分析、特に微量不純物分析に用いられ、分子の分子量を測定し、化合物の分子式と分子構造を確定するために信頼できる根拠を提供する。化合物は指紋のような特殊な質量分析を持っているため、ICP質量分析計は工業生産にも広く応用されている。