【化学工業機器網業界動態】レーザー干渉測定とは、レーザーを光源とし、レーザー波長またはレーザー周波数を基準として、光の干渉原理を利用して精密測定を行う方法であり、非接触測定、感度が高く、度が高い利点がある。レーザー干渉測定器は一般的に変位、長さ、角度、面基、媒体屈折率の変化などの方面の測定に用いられ、よく用いられる干渉計はマイケルソン干渉計、マッハ-ゼッド干渉計、フェナントロ干渉計、タイマン-グリーン干渉計などのレーザー干渉測定は超精密測定制御とマイクロナノスケール測定を実現する有効な手段の一つであり、多くの分野で極めて重要な作用がある。このほど、国家重大科学技術特別プロジェクト「極大規模集積回路製造装備及びセット技術」などのプロジェクトの支援の下、清華大学の先輩招聘教授、精密機器系学術委員会主任の李岩研究チームが完成した「高速度多軸高解像度レーザー干渉測定技術と機器」プロジェクトは、一連の重要技術のボトルネックを突破し、測定の新方法、システム及び機器を形成した。李主任によると、プロジェクトは干渉計コンポーネント、信号検出復調から多自由度検出方案設計までの全チェーン自己研究開発の高速度測定、多軸大量距離、高解像度レーザー干渉測定システムを実現した。現在、このプロジェクトチームが開発したフォトリソグラフィ用二周波数レーザー干渉計システムはすでに我が国の自己研究フォトリソグラフィ機ワークステーション試作機の研究開発過程に応用され、累計50台余りのセットが応用されている。この研究成果はリソグラフィ装置のデュプレクサ試作機の精密測定需要を満たし、国外干渉計への依存を軽減し、その製品が我が国の輸出規制による研究開発リスクを低減し、我が国のリソグラフィ装置のデュプレクサ装置の研究開発の順調な実施を保障するために積極的な役割を果たした。また、プロジェクトが開発したサブナノ解像度トレーサビリティヘテロダイン干渉計は、レーザー多次元測定システムの研究と開発の比較検定研究にも応用された。サブナノメートル分解能トレーサビリティヘテロダイン干渉計はレーザー多次元測定システムの非線形誤差の原因を探し出すことができ、そして専門の回路を用いて補正を加え、関連単位レーザー多次元測定システムの性能を高めた。開発チームが提案したトレーサビリティ干渉測定の新しい方法は、ムーア単位のアボガドロ定数再定義に貢献した。なお、過去において、我が国はレーザー干渉計測器を開発する核心技術を掌握していなかったが、このプロジェクトの成功は我が国のレーザー干渉計測器に対する外国の制限と独占を一挙に打破し、我が国のレーザー干渉計測理論と技術を豊かにした。これは今後我が国の装備と機器の研究開発が性能が安定し、外国に制限されない測定と遡及能力を持つことを意味する。要するに、この研究成果は非常に重要な技術、経済、社会的利益を持っている。レーザー干渉測定技術はトレーサビリティナノメートル測定を保障する重要なルートであり、我が国を計量強国、製造強国への進出を推進する重要な計量試験技術でもある。研究開発チームの継続的な研究に伴い、我が国のレーザー干渉測定技術は絶えず進歩し、我が国により多くの利益をもたらすと信じている。