この外部調整プローブ台は、外付けプローブモジュールの微分ヘッド構造によりXYZ方向の変位を行い、チャンバ内のプローブを調整し、ミクロンレベルの移動を行い、移動モジュールはチャンバ体外に設計され、チャンバ体内環境に影響を与えない。液体窒素の冷却、抵抗加熱の方式を採用して、-190 ~ 600℃の範囲内の精確な制御を実現して、電気学計器（例えば源表、万用表など）と組み合わせて集積して、温度変化の原位置試験を行うことができる。

製品の主な技術パラメータ：

冷熱方式：液体窒素冷却、抵抗加熱

温度制御範囲：-190℃~ 600℃

温度安定性：士0.5℃

最大昇温速度：100℃/min@100℃（定点可能/ブロック温度制御）

最大降温速度：100℃/min@-50℃（定点可能/ブロック温度制御）

サンプル載置台の寸法：無酸素銅、50mm*50mm

光路ひかりろ:反射光路はんしゃこうろ

プローブ：調整可能プローブ*12（針先5μm、ベリリウム銅）

プローブインタフェース：3同軸BNC

プローブ変位ストローク：XY軸：±25 mm、Z軸：±10 mm

プローブ変位分解能：5μm

チャンバ：真空チャンバ

果物計器のカスタム外部調節プローブ台の応用現場：