1.ECH 600プローブ冷熱台

2.温度制御器

3.冷房コントローラ

4.循環水機

5.信号切替器

6.液体窒素タンク

7.上位機

8.キーサイト E4990A

平行板容量法を用いて、試料をセラミック焼銀片が置かれた正確に温度制御可能な載置台上に置き、一方のプローブを試料上電極に接触させ、他方のプローブをセラミック焼銀片の焼銀層に接触させて、試料下電極と導通させ、さらに試料容量を測定した。テスト前に、サンプルのサイズを測定し、ソフトウェアに入力する必要があります。これにより、サンプルの異なる温度での誘電率を自動的に計算することができます。

セラミックウエハA-BT

TCCの重複性が良く、異なる輪番曲線の差が小さい、

Dk及びDfの初測、回温、二測の変化傾向は一致し、データの差異は小さい、

セラミックウエハB-BT

TCCの重複性は比較的良く、異なるテストの輪番曲線の差は小さい、

Dkの変化傾向は一致している、

MLCC製品

TCCの複数回試験の照合度は比較的良く、変化率は±15%以内である、

Cp試験紙は0.085μF ~ 0.115μF、同じ温度の試験値2測定と1測定の差は7%以内、

0.5 V試験条件下での表現は公称と一致した。

1.セラミックスウエハとMLCC製品のテスト結果は要求に達することができ、TCC、Dk、Dfテスト結果は測定データと比較的に一致している。

2.温度制御精度は±0.1℃、3℃/minの昇温速度で、同じ温度の4つの周波数サンプリングの実際のサンプリング温度差＜0.2℃、同じ品種の隣接温度差≦0.2℃、配置単標値と一致し、温度制御、温度検出が正確である。

▲同慧TH 2838との組み合わせ