広州善準科技有限公司真空プラズマ洗浄VP-Rシリーズ国際的な第一線メーカーに対して、国内技術の短板（低温真空石英キャビティプラズマ洗浄装置）を補充し、VP-Rシリーズの周波数は13.56 MHzで、材料に対して清潔、エッチング、活性化、改質の役割を果たすことができ、フル出力で30分間運転し、キャビティ温度は32℃を超えず、サンプルを損傷せず、マイクロフロー制御チップに適用するPDMS結合、ITO導電性ガラス、グラフェン、繊維、単結晶シリコンシート、PET、シリカなどほぼすべての材料のPLASMA処理。