一、操作前準備

試料の前処理：試料の乾燥、揮発性物質（鏡筒の汚染を避ける）を確保し、導電性試料は直接使用でき、非導電性試料は金/炭素噴霧処理（電荷蓄積を防止する）が必要である、試料サイズは、荷重範囲を超えないように試料台に適合する必要があります。

計器検査：観察電界放出走査電子顕微鏡電源、真空システムは正常かどうか、鏡筒内に残留試料や異物がなく、冷却システム（例えば液体窒素）の液位は要求を満たす。

安全規範：防護手袋（指紋によるサンプル/機器の汚染を避ける）を着用し、真空が基準を満たしていない時に電子銃を開け、鏡筒の観察口から離れることを厳禁する（放射線を防ぐ）。

二、コア操作手順

1.サンプル積載

試料室のドアを開けて、前処理した試料を試料台に固定する（移動を避けるためにしっかりと取り付けられることを確保する）、

サンプル室のドアを閉じ、真空システムを起動し、真空度が計器の要求に達するのを待つ（通常は「真空レディ」の指示ランプが点灯する）。

2.電子銃とパラメータ設定の起動

真空達成後、電子銃を起動し、加速電圧を選択する（サンプルタイプによって調整し、一般的に1-30 kV、導電サンプルは高電圧、非導電サンプルは低電圧）、

発射電流を設定する（計器の推奨範囲に従い、サンプルや計器を過大に損傷しないようにする）。

3.サンプルの観察と位置決め

試料台のXYZ軸を調整し、光学顕微鏡または低倍電子画像により目標領域を見つける、

適切な増幅倍率に切り替えます（低倍から高倍へ段階的に調整し、低倍は位置決めに、高倍は詳細観察に使用）。

4.画像調整と収集

明るさ、コントラストを調整し、画像を鮮明にする（明るすぎたり暗すぎたりしない）、

画像の解像度を選択する（必要に応じて調整し、高解像度は詳細解析に適し、低解像度はクイックプレビューに適している）、

「収集」ボタンをクリックして、画像を保存します（JPG、TIFFなどのフォーマットを選択できます）。

5.シャットダウンプロセス

まず電子銃を閉じ、加速電圧を0に下げる。

真空システムの圧力漏洩（強制的にドアを開けてはならない）を待ち、圧力漏洩が完了したらサンプルを取り出す、

機器の電源、冷却システムをオフにし、サンプル台と操作エリアを整理する。

三、重要な注意事項

真空が基準に達していない場合は、電子銃を開けたり試料室のドアを開けたりしてはならない。そうしないと、鏡筒と電子銃を損傷する恐れがある。

試料は乾燥し、腐食性がなく、真空システムまたは鏡筒内部を汚染しないようにしなければならない。

拡大倍数とサンプル台を調節する時、動作は緩慢で、サンプルが鏡筒に衝突するのを防止しなければならない。

もし電界放出走査電子顕微鏡画像のぼやけ、放電などの異常が発生した場合、直ちに電子銃を停止し、技術者に連絡して調査し、自分で機器を分解することはできない。