荷電効果とは？

走査電子顕微鏡は主にサンプル表面のミクロ形態観察に用いられるが、サンプルを観察する過程でしばしば荷電効果により画像が異常に明るくなり、歪み、さらには画像がぼやけてしまう場合があり、画像品質に深刻な影響を与える。

図1の固体絶縁材料の電子放出特性曲線。横軸は入射電子エネルギー、縦軸は試料の電子収率である。荷電現象は、いずれかの瞬間にあるノードに流れる電流の和が、ノードから流れる電流の和に等しいことをキールホフの電流法則で表すことができる。次の式で表現できます。

ここでI_p入射電子の電流であり、δI_（b）後方散乱電子と二次電子の電流の和である、I_SCサンプル接地電流であり、Qは時間t内の放電電荷である。