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走査電子顕微鏡の2つの「目」――後方散乱モードと2次電子モード
日付:2020-07-21読み:1

飛納電子顕微鏡はお客様のために二次電子イメージングモードを備えており、サンプルの立体的な外観形態の観察をさらに段階的に向上させている。フェナー電子顕微鏡には、2つの観測サンプルの「目」である後方散乱検出器(BSD)と2次電子検出器(SED)があり、観測ニーズにかかわらず、2つの「目」はほとんどの要件を満たすことができます。

二次電子モード

フェムトナノ卓上走査型電子顕微鏡の内部に二次電子プローブを備え、試料から打ち出された二次電子を収集することができる。これらの二次電子は主に試料から1 ~ 10 nmの表面に由来し、入射深さが小さく、入射電子の作用領域は入射ビームのビームスポットサイズと大差がないため、同じ条件下では、二次電子の分解能は後方散乱画像のものより優れている。また、二次電子は試料の傾斜角度により敏感であるため、下図に示すように二次電子画像はより良い立体形態を呈することができる。