高分解能フェムト秒レーザ直接リソグラフィマイクロ加工システムが中国科学技術大学に設置

モービル光精計高分解能フェムト秒レーザ直接リソグラフィマイクロ加工システムは先日、中国科学技術大学中科学院量子情報重点実験室に設置され、当社のフェムト秒レーザマイクロ加工リソグラフィ装置とサービスレベルを代表するもう一つの力作となった。

この高分解能フェムト秒レーザ直接リソグラフィ微細加工システムは現在のフェムト秒レーザ直写リソグラフィ微細加工のレベルを有し、中国科学技術大学の科学研究に信頼性のある保障を提供し、紫外フェムト秒微細加工、フェムト秒微細加工及びフェムト秒微細加工の各種類の応用に広く使用できる。
この高分解能フェムト秒レーザ直接リソグラフィマイクロ加工システムには全自動化制御加工機能、自動サンプルナノスケール位置決めシステム、自動調整レーザ偏光とレーザエネルギー調整機能があり、本当に省心、操作を実現し、レーザマイクロナノ加工の探索研究に非常に適している。
紫外フェムト秒レーザと物質の相互作用はjianduanの課題であり、紫外光はより高い光子エネルギーを持ち、材料のマイクロナノ加工に対してより優勢であり、紫外帯域の超高速レーザと物質の相互作用は探索に値するが、紫外フェムト秒レーザの安定応用は基本周波数光よりも困難であり、この難題はモービル光精計欧州中心の突破後、基本周波数光に匹敵する安定性と信頼性を実現し、科学研究に適したレーザーエネルギーを放出する。