FR-SCANNERオペレーションソフトウェア

ThetaMetrisis FR-Scannerはコンパクトな卓上測定ツールで、全自動でコーティングの厚さを測定し、基板はウエハ、マスク版、その他の材料に適している。

FR−Scannerは、厚さ、屈折係数、均一性、色度などのフィルム特性を迅速かつ正確に測定することができ、真空チャックは任意の直径または他の形状のサンプルに適用することができる。