この顧客は中国炭化ケイ素（SiC）パワーデバイス産業化のchang導者の1人で、2021年に最初のThetaMetrisis FR-Scanner-IO-Micを設置した。機台の使用状況が良好であるため、顧客は今年2台目と3台目の設備（可視光と紫外光範囲を含む）を追加購入した。
FR-Scanner-IO-Mic膜厚測定器は波長範囲が370-1020 nmの可視光干渉測定を採用し、12 nm-90 um範囲の膜層厚（5 Xレンズ）を測定することができ、精度は0.2%または2 nmに達し、精度は0.02 nmで、性価比が高い膜厚測定装置である。FR-Scannerの紫外光配置は、波長範囲が200 nmと低く、4 nm-60 um範囲の膜層厚（5 Xレンズ）に応用でき、精度は0.1%または1 nmに達する。市場で多くの膜厚測定器は顕微鏡配置を追加した後、設備の膜厚測定範囲は大幅に縮小したが、ThetaMetrisis製品はこのような状況が現れず、その膜厚測定範囲は依然として広い。特筆すべきは、多点Mapping測定機能を実現することはFR-Scannerシリーズの標準装備である。