ユーザーは北京懐柔に位置する実験室であり、guo家級の新型科学研究事業体であり、クリーンで低炭素安全で高効率なエネルギー体系の構築と「炭素達峰、炭素中和」戦略目標に向けて、戦略性、展望性、基礎性の科学技術研究を展開している。

テタメトリス膜厚測定装置は主に顧客のあるプロセス段階の酸化物、フォトレジスト、半導体化合物などのコーティング厚さの測定に応用されている。

テタメトリスの核心技術は白色光反射スペクトル（WLRS）を使用して、積層フィルムと厚膜の厚さと屈折率を数オングストロームからミリまでの超広い範囲で正確に測定することができます。

FR-μプローブマイクロフィルム測定器は、吸光度、透過率、反射率、蛍光などの様々なモードで光学測定を行うためのワンストップソリューションを提供します。

FR-μプローブ主に2つの光学コンポーネントを含みます：1つは顕微鏡の支持するスペクトルの範囲内で運行する分光計と1つは3筒の光学顕微鏡に取り付けられますC マウントポート上のモジュール。測定に使用される光源は光学顕微鏡自体から来ている。測定スポットの大きさ領域は、使用する対物レンズの倍率によって定義される。通常、50X対物レンズ、測定領域は直径約5μmの円形です。より高倍率またはより小さな開口の対物レンズを使用することにより、測定スポットをさらに縮小することができる。