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Daimei Instrument Technology Service (Shanghai) Co., Ltd
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この顧客は湖北省武漢市の上場会社で、半導体プロセス製造材料、半導体先進パッケージ材料、半導体表示材料の生産と研究開発に従事する国家ハイテク企業である。会社は湖北省、長江デルタ、珠江デルタに広く配置され、総資産は超50億元。

テタメトリス膜厚測定器は主に顧客が自己研究で生産したフォトレジストコーティング材料に応用されている。

テタメトリスの核心技術は白色光反射スペクトル(WLRS)を使用して、積層フィルムと厚膜の厚さと屈折率を数オングストロームからミリまでの超広い範囲で正確に測定することができます。


FR スキャナー半自動測定装置のために、ウェハを移動させることによって全体の走査記録測定データを行い、高繰り返し性、正確な反射率測定表現能力を有する。フィルムの数nm数百μまでmいずれも測定可能です。FR スキャナー精度、精度、再現性、長期安定性に優れた性能を提供します。


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