この部門は中国科学院傘下の研究所であり、我が国のマイクロ電子科学技術と集積回路分野の重要な研究開発機構である。主な応用方向は化合物半導体装置と回路の関連研究である。

PLSINTEC 社社製UltraShapeTM はウェハの形態寸法検出及び選別システムは業界最高の生産能力を実現できる検査システムである。ウェハの形態寸法検出はプロセスにおいて重要な意義を持っている。

半導体の設計、製造、パッケージの各段階では、プロセスが事前に設定された指標に合致することを保証し、偏差や欠陥が発生した不合格ウエハが次のプロセスに入ることを防止するために、複数回の検査、テストを行わなければならない。設計検証から半導体製造プロセス全体に至るまで、検出装置は代替できない重要な地位を持っている。

UltraShapeTM はウェハ形態検出及び選別システムは高精度高速分光共焦点二重プローブ対射センサを用いて、ウェハの非接触式測定を実現する、高精度の運動モジュールとウェハロボットを結合して、ウェハの形態の測定精度はサブミクロン級に達した。このシステムは、シリコン、炭化ケイ素、サファイア、ガラス、ガリウム砒素、ガリウム窒化物などの様々な材質のウエハに適用される。実現可能な寸法及び構造測定内容は、TTV の、ボウ、ワープ、厚さ、TIR、サグ、LTV の（フルマップテスト)などがあります。