使用する耐腐食炭化ケイ素セラミック反応器、連続安全性＃リアクタクタセツゾクセイ＃（reactor）＃＃＃（reactor）＃（continual security）＃（continual security＃

ふっ素気極品、その直接反応に関与する場合難しい選択性を制御する。常用の方式はまず塩素化し、HFでフッ素化する。採用連続マイクロリアクター技術は、フッ素ガスの直接フッ素化に便利を提供した。同時、操作もより安全で、より。