高精細工業顕微鏡は光の屈折と反射特性に基づくことが多い。そのコアは、対物レンズと接眼レンズを組み合わせて使用するなど、精密に設計されたレンズシステムのセットです。光が被観測物体に照射されると、対物レンズを介して最初に拡大して実像を形成し、さらに接眼レンズを介して実像を拡大することにより、この多段拡大により微小な細部がはっきりと現れることが確保される。

現代設備は常にCCD或いはCMOSセンサーを備え、光学信号を電気信号に変換した後、デジタル化処理を行い、電子銃から発射された高エネルギー電子ビームを利用してサンプル表面を貫通し、動的に電磁場強度を調整することによって収差を補償し、電動ステージと協力して多領域自動走査と三次元再建を完成し、複雑な材料の深層分析に適用する。

高精細工業顕微鏡の測定手順：

1.準備作業

-設備の検査と清掃：顕微鏡の各部品が正常で、光学系（レンズ、接眼レンズなど）にほこりや汚れがないことを確保する、照明システムを調整し、均一で十分な光を提供します。観察ニーズに応じてサンプルを準備し、ステージに固定します。

-接続補助装置の設置：必要に応じて、カメラ、光源などの部品を設置し、顕微鏡をコンピュータに接続して画像収集と分析を行うなどの関連装置を接続する。

2.サンプルを置く：サンプルをステージ上に置き、ステージの移動装置を利用してサンプルを視野中心に移す。注意スライドの正面を上にして、打錠クリップで固定し、観察領域が通光孔の中心に位置するようにしてください。ステージを移動する際には、スライドの移動方向が接眼レンズにおける対物像の移動方向と逆になることに注意する必要がある。

3.粗焦点調整：粗焦点調整つまみを回転させ、鏡筒またはステージを上下に移動させ、サンプルの鮮明な結像位置をほぼ見つける。

4.キャリブレーション（測定機能に関わる場合）

-清掃準備：レンズとステージを清掃し、不純物が校正に影響を与えないようにする。

-標準部品を置く：標準ブロックをステージの中心に置き、顕微鏡を鮮明な画像化に調整する。

-ソフトウェアキャリブレーション：ソフトウェアの中で「キャリブレーション」機能を選択し、ヒントに従ってブロックの両端の目盛線を順番にクリックすると、システムは自動的に実際の寸法と測定値の偏差を記録し、修正する。異なる対物レンズ倍率を交換する場合は、それぞれキャリブレーションを行い、各倍率で精度が一致するようにする必要があります。

5.観察と測定

-低倍鏡の初観：回転変換器は低倍対物レンズ（例えば4×または10×）を垂直に下にし、ゆっくりと粗準焦点螺旋を調整してステージをガラスから約0.5 cmのところまで上昇させ、まず初歩的な観察位置決めを行う。

-自動測定（高精度方法）：顕微鏡の高精細カメラを通じて部品の円形輪郭の完全な画像を捕捉し、コンピュータに転送した後、ソフトウェアは「エッジ検出アルゴリズム」（Cannyアルゴリズム、Sobelアルゴリズムなど）を通じて輪郭境界を自動的に識別し、画像ノイズ（反射、不純物など）による輪郭への干渉を排除する、その後、ソフトウェアは輪郭上の数百点から数千点を自動的に抽出してサイズなどのパラメータを計算します。