3次元測定機能は連続変倍光学系と深さ合成アルゴリズムに基づいて、多焦点平面画像の自動収集と融合を通じて、パノラマ深さ3次元モデルを生成する。例えば、海康威視超被写界深度3 Dデジタル顕微鏡は30 Xから2200 Xのデジタル増幅倍率を実現し、0.5ミクロンの解像度で高さ、体積、輪郭などの立体寸法測定を完成することができる。その3 D測定モジュールは点間高度差、突起/凹部体積、断面輪郭距離などのパラメータの抽出を支持し、さらに体積と表面積アルゴリズムを通じて複雑な形態の幾何学的特徴を自動的に識別することができる。新エネルギー分野では、この技術は電池電極のミクロ多孔性を正確に測定することができる、半導体業界では、ウエハ表面の微細構造の3次元形態を再構成することができ、プロセスの故障分析にデータ支持を提供する。

粗さ解析機能は画像処理技術により表面の微視的な起伏を定量化する。デジタル顕微鏡はRa（算術平均粗さ）、Rz（最大高さ差）などのISO標準パラメータを出力することができ、一部のモデルはSuperViewWT 3000白色光共焦点顕微鏡などであり、さらに粗さRMSの繰り返し性を0.005 nmレベルに引き上げた。その測定範囲はナノスケールの超平滑表面（チップメッキなど）からミリスケールの粗構造（金属加工品など）までカバーし、共焦点モードにより傾斜角が90°に近い鋭い特徴を測定することができる。自動車産業では、この技術はブレーキシュー表面の摩擦テクスチャを検出することができ、生物医薬分野では、細胞培地の表面親水性を分析することができる。

技術原理から見ると、3次元測定は光学増幅と深さ合成に依存し、粗さ分析は画像の階調勾配と幾何学的特徴を結合して抽出する必要がある。両者はマクロ形態からミクロテクスチャまでの全次元検出システムを共同で構築し、精密製造、材料研究開発、品質制御などの分野にかけがえのないソリューションを提供した。