超純水機物理と化学を結合した浄化技術により、その作業フローは以下の通りである：

1、前処理システム

石英砂ろ過：水中の土砂、鉄さびなどの大粒子懸濁物を除去する。

活性炭吸着：残留塩素、有機物及び異色異臭を吸着し、後続の逆浸透膜を保護する。

軟化装置：高硬度水質に対して、カルシウム、マグネシウムイオンをイオン交換樹脂で置換し、逆浸透膜のスケールアップを防止する。

精密ろ過：5μm或いは1μmろ過コアを採用し、微小粒子を遮断し、進水濁度≦1 NTUを確保する。

2、逆浸透（RO）技術

半透膜分離：孔径0.0001μmの逆透過膜を用いて、水中の99%以上のイオン、細菌及び高分子有機物を遮断する。

二級逆浸透：一部の機種は二級RO設計を採用し、出水TDS値（総溶解固体）をさらに下げ、水産導電率≦5μS/cmを確保する。

3、超精製処理

イオン交換樹脂：混合床中のカチオン樹脂とアニオン樹脂が協同作用し、水中の残留イオンを深く除去し、抵抗率を10-18 MΩ・cmに向上させる。

電気脱イオン（エディ）：電場駆動イオン交換樹脂の再生により、連続的な制水を実現し、かつ化学再生剤を必要とせず、大規模な工業応用に適している。

4、端末処理

紫外線酸化（UV）：185 nm紫外線分解水中の有機物、254 nm紫外線殺菌微生物、TOC（総有機炭素）を≦5 ppbまで低下させる。

限外濾過膜（UF）：孔径0.01μmの膜濾過器、細菌、内毒素及び微粒子を遮断し、水が無菌要求に適合することを確保する。

終端微細濾過：0.22μmまたは0.45μmフィルタコアを最後の障壁とし、粒子状物質が水点に入るのを防止する。