先日、清華大学が完成した「高測速多軸高分解能力レーザー干渉測定技術と計器」プロジェクトが2018年度中国計量試験学会科学技術進歩一等賞を受賞した。
計量は科学技術の基礎であり、人類が世界を認識するツールであり、人類暦*の3回の技術革命は計量試験技術の突破と密接に関連しており、計量試験科学技術の成果は他の科学技術の進歩と発展を推進する上で重要な促進と役割を果たしている。レーザー干渉測定は超精密測定制御とマイクロナノスケール測定を実現する有効な手段であり、トレーサビリティナノ測定を保障する重要なルートであり、計量強国、製造強国*への重要な計量試験技術でもある。
プロジェクトチームはフォトリソグラフィーワークステーションの超精密位置決め、基礎計量測定及び機器応用におけるレーザー光干渉計高動態、高分解能、尺度横断とトレーサビリティなどの測定需要を深く展開し、測定原理、方法と測定システムの計器化における共通性科学技術問題の研究を深く展開し、集積多軸干渉、信号復調と屈折率補償などの重要技術を突破し、完全に自主的な高性能レーザー干渉測定システムを形成する。長さまたは周波数基準にさかのぼることができる一連のレーザー干渉測定方法を提案し、不確定度が皮、ナノスケールの高精度測定を実現する、一連の知識製品の成果を形成し、研究成果は我が国の自主開発フォトリソグラフィ機の高精度位置決め、レーザー光を支持したしんどうそくていきの信号復調などの応用を行い、国家「第12次5カ年計画」科学技術革新成果展に入選した。
プロジェクトは干渉計モジュール、信号検出復調から多自由度検出方案設計までの全チェーン自己研究開発の高速度測定、多軸大量距離、高分解能レーザー干渉測定システムを実現し、光周波数トレーサビリティシリーズ化レーザー干渉精密測長方法を提案した。現在までに、プロジェクトは授権された発明専門家li 20余項を獲得し、SCI収録論文30余編を発表した。
また、プロジェクトチームが開発したフォトリソグラフィ用デュアル周波数レーザ干渉計システムは、我が国の自己研究用フォトリソグラフィ工作物台試作機の研究開発過程に応用することに成功し、累計50台余りのセットを応用し、フォトリソグラフィ機のデュプレクサ台試作機の精密測定需要をよく満たし、フォトリソグラフィ機用デュプレクサ干渉計の能力の形成を支持し、国外の干渉計への依存を軽減し、我が国の装備と器具の研究開発に性能が優れ、人に制されない測定と源追跡能力を提供した。
「中国計量試験学会科学技術進歩賞」は、国家科学技術奨励弁公室に登録された省部級科学技術進歩賞である。その中で1等賞を申請するプロジェクトは、全体の技術が正式に3年以上応用され、大きな経済効果または社会効果を得ることを要求している。現在、製品は航空宇宙、自動車製造、工作機械検査などの多くの分野に応用することに成功し、中国製造製品の品質を向上させる有力な支持ツールとなっている。