新しいLinnik干渉対物レンズ

SensofarはオプションモジュールLinnik干渉対物レンズの発売を喜んで発表した。Linnik対物レンズは、透明な材料の奥に位置する表面または接触しにくい表面の干渉画像を得るために設計されている。Linnik対物レンズの光機械設計には、基準表面のための対物レンズと、表面を検出するための対物レンズの2種類の同じ対物レンズが含まれています。

2つの明場対物レンズを組み合わせることで、さまざまな可能性が提供されます。超長作動距離（SLWD）対物レンズ、高開口数対物レンズ、水浸対物レンズ、または従来の干渉計が規格を備えていない対物レンズ群を使用することができます。対物レンズ群は、PSI傾斜面、例えばシリコンウェハを測定するための2つの50 x倍率SLWDであり、45度傾斜でも対物レンズに触れない。また、ガラス保護水に含まれるタンパク質結晶の画像を得るために、20 x倍率のEPIのセットを使用することもできます。

Linnik対物レンズには多くの利点がありますが、それは使いにくく、専門的なアライメント技術が必要です。通常、干渉フィルタを介して緑色または赤色LEDなどの長乾性光源が使用される。