ROHS分析器電子機器の中でRoHS基準に合致するかどうかを測定するための装置であり、ROHS指令の目的は電子電気廃棄物の環境と人体の健康に対する危害を減らすことであり、その管理制御する物質は主に鉛、水銀、カドミウム、六価クロム、多臭素ビフェニルなどを含み、指令の更新に伴い、管理制御物質リストが増加する可能性がある。

　　ROHS分析器主に以下の3種類の検査技術を採用し、異なるシーンの需要をカバーする：

X線蛍光分光法（XRF）：

原理：X線により試料を励起し、元素原子の内層電子を遷移させ、特徴X線を放出し、エネルギーと強度に基づいて元素の種類と含有量を判断する。

利点：特徴：非破壊性検査、迅速で便利（数分以内に結果を出すことができる）、複雑な前処理が必要なく、サンプルに対して初歩的なスクリーニング検査と迅速な定性定量分析を行うのに適しているが、検査精度は実験室の方法に比べてやや低く、カドミウムなどの軽い元素に対する検査感度は限られている。

誘導結合プラズマ発光分光法：

原理：試料をプラズマに変換し、元素発光のスペクトル線を検出して種類と含有量を決定する。

利点：高感度、高精度で、複雑なサンプル分析（例えば金属部品中の微量重金属）に適している。

ガスクロマトグラフィー-質量分析法（GC-MS）：

原理：試料中の有機化合物を分離した後、質量分析測定により高感度と選択性分析結果を提供する。

利点：有機臭化物の検出感度が高く、定性が正確で、有機有害物検出の常用手段であるが、同様に複雑なサンプル前処理（抽出、浄化など）が必要である。