質量流量コントローラのキャリブレーションは、複数のステップにわたるプロセスであり、流量コントローラの読み取りと出力の正確性と信頼性を確保することを目的としている。以下はマスフローコントローラキャリブレーションの具体的な方法：

一、環境条件の準備

校正環境の安定性を確保し、温度を（20±5）℃、湿度を45%RH ~ 75%RHの範囲内に制御する。

大気圧突然変異、振動妨害及び磁場妨害を避ける。

二、設備検査と接続

品質流量制御器及びその付属設備（例えば標準流量計、U型管圧力計、ストップウォッチ、デジタルマルチメーター、ガスボンベなど）が完全で破損がなく、距離と精度が要求に合っているかどうかを検査する。

配管を清掃して密封性を確保する。

ガスボンベ、被検コントローラ、標準流量計とU型管圧力計を正しく接続し、各接続部に空気漏れがないことを確保する。

三、校正ステップ

1.外観と予備検査：

コントローラの外観が破損していないか、キーが正常か、ディスプレイがはっきりしているかどうかを確認します。

電源を入れ、所定時間（通常15〜30分）に予熱し、流量値がゼロかどうかを表示し、ゼロでなければクリア操作を行う。

2.配管接続と漏れチェック：

被検制御器の流量範囲に応じて適切な距離の標準流量計を選択し、好気路を接続する。

ポートに密封されて漏れがないことを確保し、高圧ガスに対して、気密性検査ステップを増加しなければならない。

3.ゼロ点較正：

流路システム全体に気流の通過がないことを確保する場合、調整マスフローコントローラ内部のゼロポイントポテンショメータは、デジタル表示パネル上の流量読み取り値をゼロにする。

4.示度誤差較正：

調整バルブまたは流量計を使用して、フルレンジの0%、25%、50%、75%、100%など、複数の異なる流量点を設定します。

標準流量計と被検流量計の示度を記録し、示度誤差を計算する。

測定を複数回繰り返し、精度を高めるために平均値を取ります。

5.応答時間較正：

0%から50%または50%から100%などの流量ステップ変化を設定します。

同時にストップウォッチを起動し、被検コントローラの応答が安定に達するまでの所要時間を記録する。

応答時間は技術仕様書の要件を満たす必要があり、そうでない場合は内部パラメータを調整するか部品を交換する必要があります。

6.繰り返しキャリブレーション：

2 ~ 3つの異なる流量点を選択して反復性試験を行う。

各流量点は複数回（例えば6回）繰り返し測定し、読取りを記録し、繰り返し誤差を計算する。

コントローラの一貫性と信頼性を証明するために、再現性が要件を満たしていることを確認します。

7.制御性能較正（外部制御機能を備える場合）：

外部アナログ信号または通信インタフェースを介して制御コマンドを送信する。

被検コントローラの実行動作の正確性とタイムリー性を観察する。

四、データ記録と結果判断

キャリブレーション過程における各データを詳細に記録し、流量設定値、標準流量計読み、被検流量計読み、時間、温度などの環境条件を含む。

キャリブレーションデータに基づいて、被検コントローラの表示誤差、繰り返し性、応答時間などの指標が技術仕様書の要求に合致しているかどうかを判断する。

五、レポート作成とアーカイブ保存

校正データを整理し、校正報告書を作成する。報告書は被校正機器情報、校正根拠、校正項目、校正データ、不確定度/正確度等級、校正結論などの内容を含むべきである。

キャリブレーションレポートを保存して、後続のトレーサビリティと品質管理を行う。

六、特殊なキャリブレーション方法（例えば発明におけるキャリブレーション方法）

場合によっては、チャンバ空気圧を採取して実際の流量を計算し、設定流量と比較して質量流量制御器の精度を判断するなど、特殊な較正方法を採用することができます。このような方法は一般的に複雑な計算と測定ステップに関連し、専門的な設備と技術者が操作する必要がある。

　　マスフローコントローラの校正は厳密かつ緻密なプロセスであり、操作規程に厳格に従う必要がある。キャリブレーションにより、コントローラの読み取りと出力の正確性と信頼性を確保し、流量制御システム全体の性能を向上させることができる。