走査電子顕微鏡（SEM）は電子ビームと試料の相互作用により画像化し、試料の導電性、表面平坦度及び清浄度に対する要求が高い。異なる材料は的確に処理する必要があり、以下に金属、非金属及び生物サンプルの3つの方面から実用的な技術を提供する。

金属サンプル：導電性と表面洗浄が鍵

金属試料は導電性が良いが、表面の酸化や汚染はイメージングを妨げる。処理手順：

切断とモザイク：バルク金属サンプルに対して、線切断または砥石で小さく切断し、観察しやすい、脆性金属（例えばセラミック化金属）は、エポキシ樹脂などの冷間モザイクで固定する必要がある。

機械研磨：順にサンドペーパー（400#〜2000#）で粗研磨し、アルミナまたはダイヤモンド研磨ペーストで鏡面に研磨し、表面の傷を減らす。

洗浄：超音波洗浄5〜10分、研磨残留を除去し、エタノールまたはアセトンで脱水し、酸化を避ける。

導電処理（オプション）：試料の導電性が悪い（例えば高炭素鋼）場合、薄い金（5〜10 nm）または炭素膜をめっきし、信号受信を強化することができる。

非金属サンプル：導電性と安定性の強化

非金属（例えばセラミックス、高分子）は導電性が悪く、重点的に荷電効果を解決する必要がある。処理方法：

めっき膜：表面に金めっき、白金或いは炭素層（厚さ2-20 nm）を噴霧し、導電通路を形成する。

乾燥処理：生物高分子サンプルは勾配脱水（エタノールまたはアセトンシリーズ）が必要で、再臨界点乾燥（COタンパ超臨界乾燥器）は収縮変形を避ける。

表面導電化：活性炭などの多孔質材料に対して、導電性接着剤または銀ペーストを浸漬して孔を充填することができる。

生体試料：構造と導電性のバランスを保つ

生物試料（例えば細胞、組織）は形態保存と導電性を両立しなければならない。コアステップ：

固定：グルタルアルデヒドまたはホルムアルデヒドで細胞構造を固定し、観察時の変形を防止する。

脱水：エタノールまたはアセトン勾配脱水（30%〜100%）、1ステップ10〜15分。

臨界点乾燥：表面張力による構造の陥没を回避し、細胞の三次元形態を保持する。

めっき膜：薄い金または白金層（2-5 nm）を溶着し、荷電効果を減少させ、同時に表面の細部を維持する。

一般的な提案：すべてのサンプルの製造後に高純度窒素ガスで乾燥し、水の浸漬を避ける必要がある、めっき前にサンプル表面を清潔にしてください。そうしないと、めっき層の不均一がイメージング品質に影響します。的確な処理により、SEM画像の解像度を大幅に向上させ、材料分析、生物研究に信頼性のあるデータを提供することができる。