冷鏡露点計は冷鏡の原理に基づいて設計された高精度湿度測定器であり、鏡面を冷却し、鏡面にガスが結露（または霜）した時の温度を検出することにより、直接ガスの露点温度を決定し、さらに湿度パラメータ（例えば相対湿度、絶対湿度）を計算する。その核心的な優位性は測定精度が高く、安定性が強く、センサードリフト補償が必要なく、湿度制御に厳しい工業及び実験室のシーンに適している。
冷鏡露点計には小型の研磨金属鏡面があり、固体ペルチェ電気加熱ポンプを用いて冷却されている。鏡面温度が測定されたガスの露点温度に下がると、ガス中の水蒸気は鏡面上で露や霜に凝結し、鏡面に照射された光を拡散反射させる。発光ダイオードと高利得光検出器からなる電気光学回路は凝縮の形成を検出し、鏡面反射光強度の減少量はメータ制御回路としてペルチェに印加される冷却電力のフィードバック入力を調整し、鏡面を平衡状態に制御し、白金抵抗温度計で測定される鏡面温度は測定ガスの露点温度に等しい。
動作原理
鏡面冷却：内蔵冷凍システム（半導体冷凍機やパルチザン冷凍モジュールなど）は鏡面温度を積極的に下げ、ガス中の水蒸気を徐々に飽和状態に近づける。
凝縮層の形成：鏡面温度がガス露点に下がると、水蒸気は鏡面で液状露または固体霜に凝縮し、可視的な凝縮層を形成する。
光学検査：LED光源とフォトダイオードからなる光学系は鏡面反射光強度をリアルタイムで監視する。凝縮層が形成されると、鏡面反射光が拡散反射し、光電センサが受ける光の強度が弱まる。
動的平衡制御：制御システムは冷房電力を調節することにより、鏡面温度を露点状態（蒸発速度と凝縮速度は等しい）に動的に平衡させる。
温度測定：高精度白金抵抗温度計を鏡面に埋め込み、凝縮平衡時の鏡面温度を直接測定し、この温度はガスの露点温度である。
冷鏡露点計のメンテナンスは、測定精度と設備寿命を確保するために、洗浄、校正、環境制御及び部品検査に重点を置く必要がある。以下は具体的なメンテナンスのポイントです。
日常の清掃と検査
鏡面清掃：イソプロパノールを無塵布につけて冷鏡表面を優しく拭き、傷や汚染物の残留を避ける。高粉塵環境では、前置フィルタを追加することをお勧めします。
センサメンテナンス：定期的にセンサ汚染状況を検査し、必要な時に無水エタノールで洗浄し、油汚れや粉塵が応答速度に影響を与えないようにする。
管路密封性：サンプリング管路及びバルブ継手が漏れていないかどうかを検査し、経年劣化部品を適時に修復または交換する。