一、計器名称

日文名称：電界放出走査電子顕微鏡

英語名：フィールド放射スキャニング電子電子鏡

二、型番：ゼイス ジェミニ 500

三、メーカー：ドイツツァイス社ゼイス

四、計器概要：

ゼイス ジェミニ 500走査電子顕微鏡は全機能の電界放出走査電子顕微鏡（FE-SEM）を用いて、高分解能、高コントラスト、高信号対雑音比を二次電子と後方散乱電子を用いて行うことができるインレンズ検出により、要求の厳しい非導電性サンプルでも鮮明な画像を得ることができ、多種のサンプルに対してライニングと低電圧イメージングを行うことができる。同時にブルックを装着X放射線エネルギースペクトル計は、マイクロゾーンの形態と成分分析に広く応用できる。

五、計器の主な特徴と技術指標：

1.解像度：≤0.6nm@ 15KV（二次電子），≦1.1nm@1kV（二次電子、特別なモードはありません）、 ≤1.2nm@ 500V；

2. 倍率：20-2,000,000

,加速電圧と動作距離の変化に応じて、増幅倍率は自動的にキャリブレーションされ、低倍率と高倍率はいかなるモード交換も必要ない、

3. 電子銃：ショットキーねつでんかいほうしゅつ電子銃

4. 加速電圧または着陸電圧範囲：0.02kV～30 kV、ステップ10V、連続調整可能、

5. プローブ電流：最大電流≦100nA；

6. 鏡筒内に静電レンズ設計を有し、強磁性材料高分解イメージングを行う、

7. 収容可能最大サンプルサイズ≧200ミリメートル、最大サンプル高さ≧60ミリメートル；

8. 5軸優中心モータ駆動サンプルテーブル、移動最大範囲指標：X≥130mm，Y≥130mm，Z≥50mm、双方向傾斜、傾斜範囲-3°-70°、回転≧360°（連続回転）、

9. 試料室には独立した後方散乱電子検出器（ESB）；

10. サンプル室内二次電子検出器（SE）；

11. 鏡筒内の正光軸に取り付けられた超高分解能インレンズ二次電子検出器（インレンズSE）；

12. エアロック（エアロック）、サンプル交換による真空引き時間がより短い、

13. エネルギースペクトル計≧60ミリメートル²かっせいたいめんせき

六、計器の主な機能とその用途：

1. 材料科学（金属材料、非金属材料、ナノ材料、有機材料）、化学科学、冶金、生物学、医学、半導体材料とデバイス、地質探査、刑事偵察、工業生産などの分野に対して材料のミクロ形態観察を行う。（液体サンプルは十分に乾燥してから試験を行う必要がある）

2. 材料に対してリアルタイムマイクロゾーン成分分析、元素定量、定性成分分析、迅速な多元素面スキャンと点、線スキャン分布測定を行った。

七、計器画像

八、応用例

1. 形態解析：

ある課題グループが金属銀ナノ構造を製造するには、そのミクロ形態構造を観察する必要があり、それによってこの銀ナノ材料が触媒分野で良好な応用の将来性を持っていることを検証する必要がある。私たちは異なる増幅倍数、異なる走査モード及びスペクトル試験を用いてこのサンプルに対して試験を行い、結果は以下の通り：

1.1 異なる倍率観察

1.2 異なるスキャンモードでの観察

2. EDSについて元素定性分析：

2.1ポイントスキャン

2.2 ラインスキャン

2.3 めんそうさ

注：文章は斉魯工業大学材料科学・工学学部『ZEISS G 500超高分解能走査電子顕微鏡》。