EVO 18型多用途走査電子顕微鏡

所属：地球環境研究所

機器名称：EVO 18走査電子顕微鏡サポート下の鉱物パラメータ自動定量試験システム

機器型式：EVO 18型

産地：ドイツ/カールツァイス

機器機能：サンプル鉱物の種類、含有量、化学元素などの測定

機器の説明：EVO 18型は高性能タングステンフィラメント走査電子顕微鏡である。主にサンプル中の鉱物の形態、種類、含有量、主要元素及び粒度などに対して分析を行った。

主な技術指標：加速電圧200-30 kV、プローブ電流0.5 pA-5 uA、倍率5 x−100000 x、分解能30 kVで3.0 nm未満（二次電子プローブ）、30 kVで4.5未満（後方散乱プローブ）、スペクトル計はBRUKER XFlash 6130.

主な用途：サンプルの形態を正確に分析し、鉱物の種類、含有量及び主要元素を測定することができる