JK－VYP3 の00高温真空熱プレス

キーワード：真空熱圧、100 mm x 100 mm、300 mm x 300 mm

製品概要:

JK－VYP300高温真空熱プレスこのデバイスの設定は、ウェハ溶接、薄膜転送、およびLCP（液晶高分子）積層。加熱領域100 mmx 100 mmまたは300 mm×300 mm。設備の最高温度は500℃、最大圧力20-40 T。

主な技術パラメータ：

1、熱圧面積：100x100ミリメートルまたは300x300メートル

2、加熱平板表面の平坦化度：10um

3、かねつでんりょく：1000Wまたは6000W

4、真空チャンバサイズ&容量積:525Lx480Wx450H（mm）75L和572Lx620Wx480H（mm）170L

5、最大圧力：10T、20T、40T

6、しんくうねつプレスボード：2つの加熱プレート、ダブル温度制御ユニット

7、油圧ポンプ：シリンダ最大移動ストローク・15mm

8、あつりょくせいど:+/-0.01 mpa（0.1 kg/cm）²)

9、おんどせいぎょき：さいだいかねつそくど2.5℃/分

10、圧力表示：ストレステーブル数表示

11、AC208-240V50/60Hz，単相

12、しんくうキャビティ：真空チャンバ上に直径が中央のものがある300 mmの真空シールドア、ドアに直径150 mの石英観察窓をシリカゲルシールリングでシール

13、設備重量：150キログラム