真空圧力スイッチは真空環境中の圧力変化を精密に感知することによって、設備の自動化制御と安全保護を実現し、その動作原理は誘導素子の変形、接点動作のトリガ、制御機能の実現の3つの核心一環に分けることができる。

誘導素子の変形は真空圧力スイッチが圧力を感知する基礎である。真空系内の圧力が変化すると、ダイヤフラム、ベローズ、ピストンなどの弾性要素が変形する。例えば、真空包装設備では、包装室内の空気が抽出され、圧力が低下するにつれて、膜片は内外の圧力差によって真空側に凹み、その形変数と圧力値は線形関係を呈する。この機械的変形は後続の信号変換の物理的基礎である。

接点動作トリガリングは機械的変形を電気信号に変換する。圧力が予め設定された閾値に達すると、変形した誘導素子はレバーバネなどの機械的構造によって微動スイッチを作動させる。例えば、SMC社のZSEシリーズ真空圧力スイッチは連続変位型設定方式を採用し、ダイアフラム変形により接点間隔が臨界値に縮小されると、電気接点が閉じ、スイッチ信号を出力する。一部のモデルはヒステリシス機能も備えており、オンオフ圧力差を設定することで圧力脈動による誤動作を回避している。

制御機能実現段階は電気信号によって設備の状態を制御する。真空圧力が設定値を下回ると、接点が閉じて真空ポンプを起動することができる、圧力が安全範囲に戻ったら、接点が切断されてデバイスが停止します。気密性試験システムでは、漏れを検出して圧力上昇が閾値を超えると、スイッチが警報装置を起動する。また、真空圧力スイッチは、起動、停止、警報の3つの閾値を同時に設定し、複雑な運転状況の需要を満たすなど、複数の定点制御をサポートしている。