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メール
huijuan_sun@bct-tech.com
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電話
18610719775
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住所
北京市順義区空港工業B区安慶大街6号院1号棟
ソリューション
Beijing Boside Technology Co., Ltd
シナリオの概要
人工知能と高効率エネルギー演算の需要に後押しされて、第4世代半導体材料とコア粒子技術の発展の下で、チップ線幅は70 nmから急速に7 nm以下の時代に入った。30 nm以下の製造過程における微量ガス状分子汚染物（AMC）検出の重要性は、非常に重要な高さに上昇している。
AMCモニタリングの微量精確化、モニタリング全面化、ビッグデータ自動分析化、AI知能管理制御化理念の導入は、AMCによる良率衝撃の低減に重要な役割を果たす。
北京博賽徳科技有限公司が自主的に開発・生産したBCT-AMCシリーズ、半導体プロセス環境モニタリングシステムは、オンラインモニタリング、実験室分析、テーブルの現場追跡分析などの多くのシーンをカバーし、より多くの有機物種の正確で完全な定量分析、分析過程の高度自動化と集積化、専用のAMC汚染データベースと処理方案ライブラリと協力し、AI技術の加持の下で、品管部と微汚染制御部の切実な問題を真に解決する。
典型的なシーン
1、プロセスポイント-オンライン自動化AMC（VOCs）精密分析システム
生産監視ポイントの配置オンライン監視：
•超清浄PFAサンプリング管を用いて工場敷地の配置を行い、測定範囲は35000 m 2 ~ 7500 m 2に達することができる
•自動サンプリング、濃縮、GC-MS分析、クラウドストレージ、AIによる検出レポートの自動生成、および超閾アラーム機能
•7×24時間スケジューリング自動監視
•全プロセス全部品の不活性化コーティング、残留と吸着を避ける
•専用捕集システムと集束システム、検出ラインを大幅に向上させ、ピーク形状をより鋭利にする
2、疑似点-実験室AMC（VOCs）精密分析システム
疑似点手動サンプリング実験室分析：
•システムは実験室に用いられ、捕集能力が強く、不純物除去能力が強く、吸着防止能力が強く、注入精度が高く、各ガス路専用、全プロセスに冷点がなく、洗浄が非常にきれいであるなどの特徴に基づいて、共同作用し、より低い検出限界を得た
•未知成分分析定量：システムはサンプルの物質全分析を行うことができる
•半導体企業向けに開発されたAMC（VOCs）物質検出方法パッケージ
•測定時効性が強い：迅速に汚染物質を定量し、AMC（VOCs）汚染源を適時に発掘する
ウェハ石英加熱炉、加熱揮発注入：
•半導体企業向けに開発されたAMC（VOCs）物質検出方法パッケージ
•測定時効性が強い：迅速に汚染物質を定量し、AMC（VOCs）汚染源を適時に発掘する
3、作業台-携帯型AMC（VOCs）精密分析システム
ワークベンチ-汚染追跡解析：
•分析が迅速
単質量スペクトル航走モード、計器はクロマトグラフィーカラムを経ずに直接質量スペクトル、秒級分析に入り、リアルタイムでデータを発行する。
•感度が高い
目的性追跡、感度はより高い：単質スペクトルモード、秒級応答、リアルタイムで汚染状況を動的に表示し、必要な時にイオンを選別してSIMモードを使用して目的性航行を展開することができる。
膜注入技術により、サンプルが質量分析に入る前に二次濃縮を行い、感度を高めることができる
•正確なトレース
新しい航行モード、作業場に深く入り込み、源を指す
伝統的な航行設備に比べて品質がより軽く、耐震性がより強く、伝統的な航行に基づいてさらに職場に入ることができ、汚染発生技術の位置まで正確に追跡し、企業が汚染点の管理を実現するのを助ける。
•正確な結果
二重動作モード：航走モード+GC-MS定点分析モード
70 eVEI源+4級ロッド質量分析を用いて定性的に定量し、空気中のVOCsを十分にイオン化し、標準NISTスペクトルライブラリに依拠し、正確に定性する。国家基準を加持し、結果は実験室と比較できる。
•環境への適合性が高い
非機械ポンプ真空システム、環境適合性がより強い
高速回転モジュールを廃棄し、非機械真空ポンプを採用し、多次元の大幅な振動中に運転検出ができないなどの問題を解決した。
データ結果と検出スペクトル
半導体製造現場と設備環境AMCモニタリングソリューションの紹介が終わりました。詳細については、お問い合わせください！