レーザ誘起破壊スペクトル（LIBS の）は、パルスレーザを励起源として用い、レーザパルスが被測定物の表面に集束してプラズマを発生し、特定の波長を有する光放射を放射する原子発光スペクトルである。高感度の分光計を用いてこれらの光放射線を検出し、分光分析することで、被測定材料の元素組成と含有量を得ることができる。