極紫外ビーム伝送システムは？連相？光源（DCLS）光源技術の重要なシステムとは？あ、メイン？真空で中流になるのか？空にすることはできません？で伝送される極紫外ビーム？効果的に実験研究に転送しますか？ステーションを作る。創スペクトル計器はこのビーム伝送システムの光学設計を受けて完成した、？プログラム設計、オンラインインストール、統合テスト？作成、帯域光デバッグ結果が一致予想される指標要件は、順調に納入され、投入されていますか。を使用します。