新製品速達昇華器BOF-6-210

技術仕様

1.加熱素子：輸入KTL抵抗線。

2.加熱ゾーンの数：5-8ゾーン（需要に応じてカスタマイズ可能）、1つの温曲2点制御を実現し、温場をより均一にする。

3.昇華区温度：室温から800℃まで、連続的に調整可能。

保温区の温度：室温から400℃まで調整可能、定温温度の時間及び空間的変動は±1℃以下である（試験方法は国家計量基準JJF 1184-2007に適合する）。

4.昇華舟の容積：0.5〜10グラム、50〜500グラム、500〜2000グラム。

5.温度制御方式：ヒューマンインタフェースプラスPLC制御、10インチ液晶パネル制御、デジタル工業制御計器ダブル制御、工業知能温度制御計器とソフトウェアを用いてダブル制御を実現し、ファジィ型PID制御を採用する。

6.ペーパーレス記録：運行プロセスデータを内蔵して記録し、USBインタフェースに接続し、パソコンに接続してワンタッチでデータをコピーすることができる。

7.構造説明：①設備は電動で半開きにでき、自動的に冷却降温システムを制御する。制御可能な冷却速度を実現する.

②供給端に2ウェイの高精度質量流量計システムを配備し、ガス流量を正確に制御し、生産プロセスの開拓と調整を実現できる。

③システムは自動化プロセスを採用し、プロセスのワンタッチ操作を設定し、人為的な要素を下げ、プロセスの信頼性は99.9%に達することができる。

8.濾過方式：システムは三級濾過保護装置を採用し、それぞれ5級微孔金属濾過網、2セットの液体窒素内嵌式凝縮、90度直角段差式濾過を採用する。

9.外管の寸法Φ210 X 2000 mm、キャビティは三層石英管装置を採用し、自動的に材料を出し入れすることができ、構造は真空室管が汚染されず、高い真空度を維持することを保証することができる。中層管は材料の取り出しが便利で、洗浄が容易で、内層管は段階的に昇華した後、各段の材料は区別しやすく、製品と純度と生産率（最大昇華率97%、材料と配置と関係がある）を最大限に保証することができる。

10.キャビティは内部制御と温和な外部制御温度の相互切り替えを採用し、石英の屈折と散乱による温度場の不均一現象を防止する。

11.設備の正面端面はすべて石英密封観察窓を採用し、生産中の材料の精製状況を観察することができ、撮像システムを搭載することで生産昇華過程の全監視と記録を実現することができる。

12.真空引き端に主管直径200 mmの分子ポンプ直結を採用し、実験中の高真空の需要を確保し、直径200 mmの直管の中間にプラグバルブ、プラグバルブの両端に直径3 mmの細管多孔傍を追加し、初真空時の抽気速度が分子拡散の方向に大きく影響することを防止し、材料の不均一を招く。

13.前段メカニカルポンプ60 m³/h、分子ポンプ抽気速度160 L/S。

本底真空：機械ポンプシステム：1 Pa分子ポンプシステム10-4 Pa。

多様な異形内管を選択可能