アプリケーション：

半導体先端単結晶シリコンの作製過程におけるシリコンウェハ及び結晶円筒の保管に適し、シリコンウェハの粒子戻り、霧戻り現象を防止する、一般的な乾燥ストレージキャビネットまたは窒素キャビネットはすべて全閉鎖環境であり、自浄機能がないため、内部に大量のほこりが溜まりやすく、これらのほこりがストレージに付着する可能性が高い。クリーンキャビネットは、塵埃汚染を避ける必要がある物品を保管するのに適している.

製品の特徴：

★4インチ超高輝度デジタルチューブ表示、可視距離30メートル、窒素節約制御システム、警報システムを追加可能。

★クリーンファン――輸入クリーンルーム専用FFUファンを採用し、アルミニウム亜鉛めっき板材質、アルミニウム合金羽根車、風速0.3-0.45 m/s、騒音<=55 dB。

★両面ネット保護高効率フィルター——濾過効率99.99%@0.3 um高い。

★モジュール化設計，温湿度ディスプレイ、制御システム、除塵システム及び除電システムはいずれも迅速に交換でき、メンテナンス及びメンテナンスが簡便で、メンテナンス効率を大幅に向上させる。

技術パラメータ：

材質：二重鏡面304ステンンレス鋼

外寸法：1300W*1836H*800Dmm

内部寸法：1253W*1110H*650Dmm

除湿レベル： 相対湿度は5％RH以下（窒素充填ガス配合）

クリーンレベル：ISOクラス2（百級）ISOクラス3（千級）

湿度表示範囲：0.1%RH-99.9%RH

湿度表示範囲：-40℃-70.0℃（-9.9℃以下に小数点を含まないことを示します）

温湿度ディスプレイの精度： 相対湿度±3%RHあ、温度±1℃