深冷法空分設備は低温下で空気成分の分離を実現し、人精留塔で分離されたガスの水含有量に対する要求が高いため、高性能微量水分析器を配置することは空分設備の連続的な安全安定運転にとって非常に重要である。現在、空分業界に広く応用されている微量水分析計は測定原理によって異なり、電解式、容量式、冷鏡式の3種類に分けることができる。今日は静電容量式微量水分析計の1つの空分設備への応用とメンテナンスを紹介します。

1.測定原理

容量式微量水分析計（露点計）のセンサ部分はコンデンサに相当し、導電性基体上に薄い孔状のアルミナを堆積し、その後、アルミナ薄層上に薄い金を塗布し、導電性基体と金薄層はコンデンサの電極を形成する。測定されたガスは金薄層を通過し、その水分は孔状のアルミナに吸収され、この場合、コンデンサのインピーダンスは水分子の数（すなわち水ガス分圧）に一定の割合になる。このコンデンサのインピーダンスや容量を測定することで水ガス分圧を得ることができ、換算すると露点値（すなわち微量水含有量）を得ることができる。薄膜容量式微量水分析装置は、2つの導電性電極上に堆積されたポリアミン塩または酢酸繊維ポリマー薄膜を用いた。薄膜が吸水または脱水すると、2つの電極間の誘電率が変化する。現在、高温に耐える熱硬化性ポリマーを使用する技術もあり、このようなセンサを100℃を超える場合に連続的に測定することができる。容量式微量水分析計は空分設備のすべての技術検査要求を満たすことができ、性価比も比較的に高いため、広く応用されている。

2.測定の利点

容量式微量水分析計（露点計）の利点：①広い応答範囲を有し、110℃と20℃の露点を正確に測定することができる、②リモートインストールも現場で使用も可能、③性能が比較的安定し、応答が速く、温度係数が小さく、流量変化とは関係がない、④水分に対して高い選択性があり、広い温度と圧力範囲で使用することができる、⑤給電電池以外に消耗品がない、⑥日常メンテナンス量が小さく、使用寿命が長く、一般的な使用寿命は10年以上である、⑦自動キャリブレーション機能を備え、いつでも自動キャリブレーションが可能。静電容量式微量水分析計の欠点は：間接測定方式を採用し、比較的に高い温度で操作すると機器のドリフトを引き起こしやすく、機器の作業は一定の時期後に校正を行う必要がある。